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關(guān)鍵特性
超薄厚度:
鉬箔:厚度≤0.1mm(常見(jiàn)0.01~0.1mm),可低至5μm(需特殊工藝)。
鉬片:厚度0.1~1mm,兼顧強(qiáng)度與可塑性。
高純度:≥99.95%(3N5)或更高(如99.99%),雜質(zhì)少,避免高溫晶界脆化。
表面精度:需拋光或電解處理,粗糙度Ra≤0.2μm(用于電子器件)。
柔性加工:極薄鉬箔可彎曲或沖壓成復(fù)雜形狀(但需避免反復(fù)彎折導(dǎo)致斷裂)。
核心應(yīng)用
鉬箔(超?。?/p>
電子封裝:功率半導(dǎo)體(如IGBT)的散熱襯底。
柔性顯示:OLED蒸鍍掩膜板(替代傳統(tǒng)因瓦合金)。
核工業(yè):同位素分離膜、輻射屏蔽層。
科研領(lǐng)域:同步輻射光源窗口材料(高透光率與耐輻射性)。
鉬片(稍厚)
真空電子器件:行波管、磁控管電極。
高溫傳感器:熱電偶保護(hù)套、高溫反應(yīng)容器內(nèi)襯。
光伏背板:薄膜太陽(yáng)能電池的柔性基底(需表面鍍銅或鋁)。
生產(chǎn)工藝
軋制技術(shù):
多道次冷軋(厚度<0.1mm需20道次以上),中間退火(1200℃氫氣環(huán)境)消除加工硬化。
箔材需箔軋機(jī)(如森吉米爾軋機(jī)),控制張力防斷帶。
表面處理:
電解拋光:減少微裂紋,提高表面光潔度。
等離子清洗:去除有機(jī)物殘留(用于半導(dǎo)體工藝)。
切割工藝:激光切割或精密蝕刻(避免機(jī)械應(yīng)力導(dǎo)致翹曲)。